您当前所在的位置是:主页 > 新闻资讯 >

共聚焦显微镜 Zeta20 台阶仪

返回列表发布时间:2020/03/20

共聚焦显微镜 Zeta20 台阶仪
Zeta-20台式光学轮廓仪是非接触式3D表面形貌测量系统。 该系统采用ZDot?专利技术和Multi-Mode (多模式)光学系统,可以对各种不同的样品进行测量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理,以及纳米至毫米级别的台阶高度。
Zeta-20的配置灵活并易于使用,并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot?测量模式可同时采集高分辨率3D数据和True Color(真彩)无限远焦点图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量、Nomarski干涉对比显微镜和剪切干涉测量。 ZDot或集成宽带反射仪都可以对薄膜厚度进行测量。 Zeta-20也是一种高端显微镜,可用于样品复检或自动缺陷检测。 Zeta-20通过提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度的测量以及缺陷检测功能,适用于研发及生产环境。
主要功能
1.采用ZDot和Multi-Mode(多模式)光学器件的简单易用的光学轮廓仪,具有广泛的应用
2.可用于样品复检或缺陷检测的高质量显微镜
3.ZDot:同时采集高分辨率3D数据和True Color(真彩)无限远焦点图像
4.ZXI:白光干涉测量技术,适用于z向分辨率高的广域测量
5.ZIC:干涉对比度,适用于亚纳米级别粗糙度的表面并提供其3D定量数据
6.ZSI:剪切干涉测量技术提供z向高分辨率图像
7.ZFT:使用集成宽带反射计测量膜厚度和反射率
8.AOI:自动光学检测,并对样品上的缺陷进行量化
9.生产能力:通过测序和图案识别实现全自动测量
显微镜价格 电子显微镜图片